A씨 등 연구원 2명은 세메스가 2018년 개발한 '초임계 세정 장비' 제조 기술을 빼낸 혐의를 받는다. 이 기술은 부정경쟁방지법상 기업의 영업 비밀에 해당한다.
초임계 세정 장비는 초임계(액체와 기체를 구분할 수 없는 상태) 이산화탄소로 반도체 기판을 세정하는 설비로, 기판 손상을 최소화하는 기술로 알려졌다.
이 장비는 삼성전자에만 납품됐는데, A씨 등은 회사를 설립한 뒤 단가를 더 쳐주겠다며 협력사를 꼬드겨 부품을 납품받아 장비를 제조해 중국에 이를 납품한 것으로 전해졌다.
검찰 관계자는 "아직 사건과 관련해 수사가 진행 중"이라며 "자세한 내용은 밝힐 수 없다"고 했다.